硅微机械传感器

第1章 引言第2章 MEMS 2.1 微型化和系统 2.2 MEMS的例子 2.3 大和小：按比例缩小 2.4 已有的制造技术第3章 硅微机械加工工艺 3.1 光刻 3.2 薄膜淀积和掺杂 3.3 湿法化学腐 3.4 圆片键合 3.5 等离子体刻蚀 3.6 面微机械加工工艺第4章 梁和膜的力学 4.1 质量块-弹簧系统的动力学 4.2 弦 4.3 梁 4.4 膜片和薄膜第5章 机械量的测量原理：形变的转换 5.1 金属应变片 5.2 半导体应变片 5.3 电容式传感器第6章 力和压力传感器 6.1 力传感器 6.2 压力传感器第7章 加速度和角速度传感器 7.1 加速度传感器 7.2 角速度传感器第8章 流体传感器 8.1 层状流边界层 8.2 限于很小雷诺数情况下的热传输 8.3 热流体传感器 8.4 表层摩擦力传感器 8.5 “干流体”传感器 8.6 “湿流体”传感器第9章 谐振传感器……第10章 电子电路 接口第11章 封装附录 英汉名词对照参考文献