包邮集成电路制程设计与工艺仿真

绪论 
　0-1 半导体及半导体工业的起源 
　0-2 半导体工业的发展规律 
　0-3 半导体技术向微电子技术的发展 
　0-4 当代微电子技术的发展特征 
　本章小结 
　习题 
第1章 半导体材料及制备 
　1.1 半导体材料及半导体材料的特性 
　　1.1.1 半导体材料的特征与属性 
　　1.1.2 半导体材料硅的结构特征 
　1.2 半导体材料的冶炼及单晶制备 
　1.3 半导体硅材料的提纯技术 
　　1.3.1 精馏提纯sicl4技术及其提纯装置 
　　1.3.2 精馏提纯sicl4的基本原理