“中国制造2025”出版工程数据驱动的半导体制造系统调度/中国制造2025出版工程

第1章半导体制造系统调度/ 1
1.1半导体制造流程/ 2
1.2半导体制造系统调度/ 5
1.2.1调度特点/ 6
1.2.2调度类型/ 8
1.2.3调度方法/ 11
1.2.4评价指标/ 12
1.3半导体制造系统调度发展趋势/ 14
1.3.1复杂制造数据预处理/ 15
1.3.2基于数据的调度建模/ 16
1.3.3基于数据的调度优化/ 17
1.3.4存在问题/ 19
1.4本章小结/ 19
参考文献/ 20

第2章数据驱动的半导体制造系统调度框架/ 22
2.1数据驱动的半导体制造系统调度框架设计/ 23
2.2基于数据的复杂制造系统调度体系结构/ 25
2.2.1DSACMS概述/ 25
2.2.2DSACMS的形式化描述/ 29
2.2.3DSACMS的对复杂制造系统调度建模与优化的支持/ 37
2.2.4DSACMS中的关键技术/ 38
2.3应用实例/ 39
2.3.1FabSys概述/ 39
2.3.2FabSys的面向对象仿真模型/ 40
2.3.3FabSys的数据驱动预测模型/ 53
2.4本章小结/ 56
参考文献/ 56

第3章半导体制造系统数据预处理/ 58
3.1概述/ 59
3.2数据规范化/ 62
3.2.1数据规范化规则/ 62
3.2.2变量异常值校正/ 63
3.3数据缺失值填补/ 64
3.3.1数据缺失值填补方法/ 64
3.3.2Memetic算法和Memetic计算/ 66
3.3.3基于高斯变异和深度优先搜索的属性加权K近邻缺失值填补方法（GS-MPSO-KNN） / 68
3.3.4数值验证/ 70
3.4基于数据聚类分析的异常值探测/ 73
3.4.1基于数据聚类的异常值探测/ 73
3.4.2K均值聚类/ 74
3.4.3基于GS-MPSO和K均值聚类的数据聚类算法(GS-MPSOKMEANS)/ 75
3.4.4数值验证/ 76
3.5基于变量聚类的冗余变量检测/ 77
3.5.1主成分分析/ 77
3.5.2基于K均值聚类和PCA的变量聚类/ 78
3.5.3基于MCLPSO的变量聚类算法(MCLPSO-KMEANSVAR) / 80
3.5.4数值验证/ 81
3.6本章小结/ 83
参考文献/ 84

第4章半导体生产线性能指标相关性分析/ 87
4.1半导体制造系统性能指标/ 88
4.2半导体生产线性能指标的统计分析/ 92
4.2.1短期性能指标/ 93
4.2.2长期性能指标/ 97
4.3基于相关系数法的性能指标相关性分析/ 99
4.3.1相关性分析框图/ 100
4.3.2考虑工况的性能指标相关性分析/ 100
4.3.3考虑派工规则的性能指标相关性分析/ 104
4.3.4综合考虑工况以及派工规则的性能指标相关性分析/ 105
4.3.5长期性能指标和短期性能指标相关性分析/ 106
4.3.6基于MIMAC生产线的性能指标相关性分析/ 106
4.4基于皮尔逊系数的性能指标相关性分析/ 109
4.4.1日在制品数-日移动步数/ 110
4.4.2日排队队长-日移动步数/ 111
4.4.3日设备利用率-日移动步数/ 113
4.5半导体制造系统性能指标数据集/ 114
4.5.1加工周期和对应短期性能指标的训练集/ 114
4.5.2准时交货率和对应短期性能指标的训练集/ 115
4.5.3等待时间和对应短期性能指标的训练集/ 116
4.6本章小结/ 116
参考文献/ 117

第5章数据驱动的半导体制造系统投料控制/ 119
5.1半导体制造系统常用投料控制策略/ 120
5.1.1常用投料控制/ 121
5.1.2改进的投料控制策略/ 127
5.1.3现阶段投料控制策略的局限性/ 129
5.2基于极限学习机的投料控制策略/ 130
5.2.1基于极限学习机确定投料时刻的投料控制策略/ 132
5.2.2基于极限学习机确定投料顺序的投料控制策略/ 138
5.3基于属性选择的投料控制策略优化/ 146
5.3.1投料相关属性集/ 146
5.3.2属性选择/ 149
5.3.3经过属性选择后的仿真/ 150
5.4本章小结/ 157
参考文献/ 157

第6章数据驱动的半导体制造系统动态调度/ 160
6.1动态派工规则/ 161
6.1.1参数与变量定义/ 161
6.1.2问题假设/ 162
6.1.3决策流程/ 163
6.1.4仿真验证/ 167
6.2基于数据挖掘的算法参数优化/ 169
6.2.1总体设计/ 169
6.2.2算法设计/ 171
6.2.3优化流程/ 178
6.2.4仿真验证/ 179
6.3本章小结/ 185
参考文献/ 186

第7章性能驱动的半导体制造系统动态调度/ 187
7.1性能指标预测方法/ 188
7.1.1单瓶颈半导体生产模型长期性能指标预测方法/ 188
7.1.2多瓶颈半导体生产模型长期性能指标预测方法/ 198
7.2基于负载均衡的半导体生产线动态调度/ 205
7.2.1总体设计/ 205
7.2.2负载均衡技术/ 206
7.2.3参数选取/ 207
7.2.4负载均衡预测模型/ 209
7.2.5基于负载均衡的动态调度算法/ 210
7.2.6仿真验证/ 216
7.3性能指标驱动的半导体生产线动态调度/ 219
7.3.1性能指标驱动的调度模型结构/ 219
7.3.2动态派工算法/ 220
7.3.3预测模型搭建/ 222
7.3.4仿真验证/ 223
7.4本章小结/ 224
参考文献/ 225

第8章大数据环境下的半导体制造系统调度发展趋势/ 227
8.1工业4.0/ 228
8.2工业大数据/ 230
8.3大数据环境下半导体制造调度发展趋势/ 232
8.3.1基于数据的Petri 网/ 232
8.3.2动态仿真/ 233
8.3.3预测模型/ 233
8.4应用实例：复杂制造系统大数据驱动预测模型/ 234
8.5本章小结/ 235
参考文献/ 236

索引/ 238