固体薄膜的光学表征

**部分 引论与建模 第1章 引论 1.1 **个考虑 1.2 薄膜表征和质量控制 1.3 本书的结构 第2章 多孔氧化锆样品的表征作为光学和非光学表征方法相互作用的例子 2.1 光学与非光学的薄膜表征 2.2 基于强度测量的光学表征 2.3 表征示例：光学和非光学方法之间的相互作用 2.3.1 光学常数 2.3.2 光学常数与孔隙率的关系：混合模型 2.3.3 多孔薄膜的应用 2.4 结论 参考文献 第3章 宽光谱区薄膜表征的通用色散模型 3.1 简介 3.2 理论背景 3.2.1 经典模型 3.2.2 基于量子力学的模型 3.2.3 展宽 3.3 元激发的色散模型 3.3.1 声子吸收 3.3.2 价电子激发 3.3.3 局域态的电子跃迁 3.3.4 自由栽流子的贡献 3.3.5 核芯电子激发 3.4 结论 参考文献 第4章 从头计算预测光学特性 4.1 引言 4.2 能带结构计算 4.2.1 量子力学波函数 4.2.2 密度泛函理论 4.2.3 交换一关联泛函 4.2.4 超越DFT 4.3 光学特性 4.3.1 Bethe-Salpeter方程 4.3.2 一般工作流程 4.4 复杂系统建模 4.4.1 特殊的准随机结构 4.4.2 模拟退火 4.4.3 例：TixSi1-xO2的折射率 4.5 关于解释结果的几点说明 4.5.1 预测与实验 4.5.2 电子与光学带隙 4.6 结论 参考文献 第二部分 分光光度法和椭圆偏振光谱法 第5章 薄膜的反射光谱成像法光学表征 5.1 引言 5.2 反射光谱成像法发展和开发的动机 5.3 正入射下非显微成像光谱反射测量技术简介 5.4 ISR技术实验装置 5.5 成像反射光谱仪 5.5.1 宽光谱区成像光谱反射仪 5.5.2 空间分辨率增强的成像反射光谱仪 5.6 数据采集 5.7 成像反射光谱仪的主要特点 5.8 成像反射光谱仪的方法 5.8.1 单像素ISR法作为独立方法 …… 第6章 成像分光光度法的数据处理方法 第7章 单层膜与多层膜的在线和离线分光光度法表征Ⅰ：基础 第8章 单层和多层膜的在线和离线分光光度法表征Ⅱ：实验技术和应用实例 第9章 分层系统的椭圆偏振测量 第三部分 缺陷和波纹的薄膜表征 第10章 缺陷薄膜的光学表征 第11章 光学薄膜的扫描探针显微技术表征 第12章 共振波导光栅结构 第13章 深紫外线栅偏振片的偏振控制 第四部分 散射和吸收 第14章 光学薄膜的粗糙度与散射 第15章 光学薄膜中的吸收和荧光测量 第16章 光学薄膜表征的环形腔衰荡技术