包邮真空镀膜技术与应用

1 真空镀膜技术概论 1.1 真空镀膜技术分类 1.2 真空基础知识 1.3 真空镀膜系统 1.4 真空的获得 1.5 真空的测量 1.6 真空镀膜技术的应用 2 真空蒸发镀膜 2.1 真空蒸发镀膜的原理 2.2 蒸发加热方式及蒸发源 2.3 真空蒸镀工艺 2.4 真空蒸发镀膜技术的应用 3 真空溅射镀膜 3.1 溅射镀膜的特点 3.2 溅射的基本原理 3.3 直流溅射 3.4 射频溅射 3.5 磁控溅射 3.6 高功率脉冲磁控溅射 3.7 真空溅射镀膜技术的应用 4 真空离子镀膜 4.1 真空离子镀膜的分类 4.2 离子镀技术的原理 4.3 空心阴极离子镀 4.4 电弧离子镀膜 4.5 离子束沉积技术 4.6 真空离子镀膜技术的应用 5 等离子体增强化学气相沉积 5.1 化学气相沉积技术 5.2 等离子体增强化学气相沉积原理 5.3 等离子体增强化学气相沉积技术特点及发展趋势 5.4 等离子体增强化学气相沉积技术类型 5.5 各种新型等离子体增强化学气相沉积技术 5.6 等离子体增强化学气相沉积技术的应用 6 工模具真空镀膜生产线 6.1 PVD工模具涂层生产线 6.2 TiN、CrN涂层、AlCrN、AlTiN涂层 6.3 纳米晶非晶复合涂层TiSiN、TiBN 6.4 多元多层涂层、高熵合金涂层 参考文献