高频宽带体声波滤波器技术

目录《半导体科学与技术丛书》出版说明序前言第1章 滤波器的发展史 11.1 引言 1 1.2 射频滤波器的特性及分类 61.2.1 腔体滤波器 121.2.2 介质滤波器 131.2.3 LC滤波器 141.2.4 IPD滤波器 171.2.5 低温共烧陶瓷滤波器 201.2.6 声表面波滤波器 221.2.7 体声波滤波器 261.3 现代通信对射频滤波器的要求 311.3.1 高频化 311.3.2 宽带化 321.3.3 集成化 331.4 体声波滤波器的研发进展 351.4.1 国内外研发进展 351.4.2 产业化进程 36参考文献 38第2章 体声波滤波器的物理基础 432.1 固体中的振动与波 432.1.1 不同介质中的声波传输 432.1.2 固体声波与胡克定律 442.2 普通弹性体的平面声波传输理论 462.2.1 弹性体的基本声学方程 462.2.2 弹性体的基本平面声波方程 48 2.2.3 各向同性介质的平面声波 502.3 压电体的平面声波传输理论 512.3.1 压电效应 512.3.2 压电方程 532.3.3 压电介质中的平面声波 552.3.4 理想体声波谐振器的平面声波.582.4 体声波谐振器的电学特性 612.4.1 理想体声波谐振器的电学阻抗特性 612.4.2 理想体声波谐振器中的谐振频率分析 632.4.3 复合体声波谐振器的电学阻抗特性 642.5 体声波谐振器的损耗 672.5.1 机械损耗 672.5.2 电学损耗 682.6 体声波滤波器的材料体系 682.6.1 金属材料 692.6.2 电介质材料 712.6.3 压电材料 71参考文献 74第3章 体声波滤波器的理论模型及设计方法 753.1 体声波谐振器的等效电路模型 753.1.1 BVD模型 753.1.2 MBVD模型 783.1.3 Mason