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微纳技术著作丛书(影印版)
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CMOS技术中的集成化学微传感系统
(美)海尔莱曼(Hierle-mann,A.) 编著科学出版社
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执行器技术:微机电方法
(美)庞斯(Pons,J.L) 编著科学出版社
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