液态金属微流体学

第1 章 概论 ………………………………………………………………… 1

1.1引言 ………………………………………………………… 1

1.2微流体………………………………………………………… 1

1.3常温液态金属……………………………………………………9

参考文献………………………………………………………… 15

第 2 章 液态金属微流体芯片及其电极制作技术 ………17

2.1 引言 ………………………………………………………17

2.2 液态金属微流控芯片制作技术 ……………………………………… 17

2.3 液态金属微电极制作技术……………………………………………… 22

2.4 液态金属电极稳定性探讨……………………………………28

2.5 液态金属柔性微加热器高温断裂机理探究……………………………………30

参考文献………………………………………………………………… 36

第 3 章 液态金属微流体温度测量 ……………

3.1 引言…...……………………………………… 40

3.2 热电偶测温 …………………………………………………… 40

3.3 薄膜热电阻测温 ………………………………………………… 42

3.4 布朗运动测温 ………………………….………………… 43

3. 5 红外测温 …………………………………………………………………… 43

3.6 热敏荧光测温 ………………………………………………… 43

3.7 热色液晶测温 ………………………………………………… 44

3. 8 核磁、拉曼光谱测温……………………………………………………… 44

3.9 激光界面测温 ……………………………………………………………… 45

3.10 超声波测温 ……………………………………………………………… 45

3.11 液态金属微流体测温技术 ………………………………………………………………46

参考文献…………………………………64

第 4章 液态金属微流体压力传感器 …………………………………67

4.1 引言 ………………………………………………………………… 67

4.2 基于液态金属的用于常规空间的压力传感器…………………………… 68

4.3 基于液态金属的用于微小空间的压力传感器………………………… 97

参考文献 ..…………………………………………………………… 133

第 5 章 液态金属微流体容性流体检测 …………………………………… 138

5.1 引言….……………………………………………………………………… 138

5.2 双侧布置式液态金属容性流体检测 ………………………………………… 139

5.3 共面布置式液态金属容性流体检测 ……………………………………148

参考文献 …………………………………………………………………………………179

第6章液态金属电渗流微泵 …………………………………………… 181

6.1 引言……………………………………………………………………………… 181

6.2 液态金属微电极电渗流微泵结构及原理 ………………………………… 182

6.3 液态金属微电极结构形式及布置方式的数值优化设计 …………… 186

6.4 液态金属微电极电渗流微泵驱动性能的实验测试…………………… 191

6.5 液态金属微电极电渗流微泵驱动性能的测试结果……………………… 193

6.6 液态金属电渗流微泵的扩展方法………………………………………………… 197

6.7 液态金属电渗流微泵的横向扩展……………………………………………… 200

6.8 液态金属电渗流微泵的纵向扩展……………………………………… 203

6.9 液态金属电渗流微泵展望………………………………………………… 204

参考文献……………………………………………………………………… 205

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