研磨废液中碳化硼回收技术与应用

**章 绪论
**节 技术现状
一、国内现状
二、国外现状
第二节 研究意义
第三节 研究内容
一、技术路线
二、内容结构
第四节 本章小结
第二章 研磨工艺及废液物性
**节 LED衬底研磨材料
一、蓝宝石衬底
二、碳化硼磨料
第二节 衬底研磨工艺
一、衬底加工流程
二、衬底研磨机理
三、衬底研磨方法
第三节 研磨废液料物性
一、F240-W研究
二、F240-WL研究
三、F240-WS研究
第四节 本章小结
第三章 基于AHP法碳化硼回收方法的优选
**节 研磨废液中碳化硼分离方法分析
一、常规过滤法
二、离心分离法
三、重力沉降法
四、振动筛分法
第二节 AHP法理论工具
一、AHP法简介
二、AHP法决策步骤
第三节 AHP法建模与计算
一、四种分离方法的AHP建模
二、四种分离方法优选的计算
三、四种分离方法的优选结论
第四节 本章小结
第四章 碳化硼循环再利用设备结构设计
**节 设备结构的初步设计
一、整体设计
二、回收模块
三、辅助模块
四、初步方案讨论
第二节 基于TRIZ理论的方案优化
一、TRIZ理论工具
二、TRIZ“九屏幕法”优化设计思路
三、“SAFC分析模型”确定*终方案
第三节 基于*终方案的设备结构设计
一、设备主体结构
二、搅拌清洗模块
三、振动筛分模块
四、设备外部结构
第四节 本章小结
第五章 碳化硼循环再利用设备样机制作与应用
**节 样机硬件结构研制
一、样机主要零部件
二、样机部件的组装
第二节 样机软件系统开发
一、PLC控制程序
二、触摸屏显示
三、电路控制系统
第三节 样机应用与检测
一、样机调试应用
二、回收效果检测
三、回收率的测定
第四节 研磨液自动配比系统
一、m-V配比算法
二、系统结构方案
三、方案应用举例
第五节 本章小结
第六章 结论与展望
参考文献