包邮太阳能光伏产业--硅材料检测技术(康伟超)

第1章 硅单晶常规电学参数的物理测试1.1 半导体硅单晶导电类型的测量1.2 半导体硅单晶电阻率的测量1.3 非平衡少数载流子寿命的测量本章小结习题第2章 化学腐蚀法检测晶体缺陷2.1 半导体晶体的电化学腐蚀机理及常用腐蚀剂2.2 半导体单晶中的缺陷2.3 硅单晶中位错的检测2.4 硅单晶中漩涡缺陷的检测2.5 化学工艺中的安全知识2.6 金相显微镜简介本章小结习题第3章 半导体晶体定向3.1 晶体取向的表示方法3.2 光图定向3.3 X射线定向本章小结习题第4章 红外吸收法测定硅单晶中的氧和碳的含量、多晶硅中基硼、基磷含量的检验4.1 测量原理4.2 测试工艺和方法4.3 测准条件分析4.4 多晶硅中基硼、基磷含量的检验本章小结习题第5章 纯水的检测5.1 纯水在半导体生产中的应用5.2 离子交换法制备纯水的原理5.3 离子交换法制备纯水5.4 纯水制备系统主要设备及工作原理5.5 纯水制备系统运行控制5.6 纯水制备系统的清洗5.7 高纯水的检测本章小结习题第6章 高纯分析方法6.1 三氯氢硅中痕量杂质的化学光谱测定6.2 三氯氢硅(四氯化硅)中硼的分析6.3 三氯氢硅(四氯化硅)中痕量磷的气相色谱测定6.4 工业硅中铁、铝含量的测定6.5 露点法测定气体中的水分6.6 气相色谱法测定干法H2的组分6.7 氯化氢中水分的测定6.8 液氯中水分的测定本章小结习题第7章 其他物理检测仪器简介7.1 X射线形貌技术7.2 质谱分析7.3 中子活化分析7.4 电子显微镜参考文献