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- ISBN：9787040543025
- 装帧：一般胶版纸
- 册数：暂无
- 重量：暂无
- 开本：16开
- 页数：564
- 出版时间：2020-10-01
- 条形码：9787040543025 ; 978-7-04-054302-5
内容简介
本书集作者多年来的实践经验与研究成果，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步，不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。
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