高新制造业静电与微污染控制

第1章 污染控制基础知识
1.1 引言
1.1.1 污染源
1.1.2 污染物黏附力
1.1.3 污染控制方法
1.2 污染控制术语
1.3 空气中和表面上的特定污染
1.4 污染来源
1.5 污染控制要求
1.5.1 空气颗粒物
1.5.2 化学蒸气污染控制限值
1.5.3 离子污染控制限值
1.5.4 磁性污染控制限值
1.5.5 表面污染率和空气电离
1.5.6 直接接触污染和原位污染
1.5.7 气流要求
1.5.8 压力要求和外壳排气要求
1.5.9 维护要求
1.5.10 其他要求
1.5.11 本节小结
1.6 相关标准
参考文献
其他读物
第2章 ESD控制基础
2.1 引言和历史回顾
2.2 静电荷控制术语
2.3 静电源
2.3.1 静电
2.3.2 静电充放电的影响
2.3.3 高科技静电放电敏感器件的故障模式
2.4 静电放电控制的要求
2.4.1 确定静电放电损害敏感度
2.4.2 电爆装置的静电放电建模
2.5 建立防静电工作场所
2.5.1 材料表面电阻率
2.5.2 接地
2.5.3 识别和访问防静电工作区
2.5.4 防静电地板覆盖物
2.5.5 工作表面和桌垫
2.5.6 腕带接地点
2.5.7 空气电离系统
2.5.8 相对湿度
2.5.9 椅子和凳子
2.5.10 垃圾箱
2.5.11 阴极射线管显示器
2.5.12 场电位限值
2.5.13 工具和夹具
2.5.14 输送机
2.6 人员静电放电控制
2.6.1 手腕带和螺旋线
2.6.2 培训和认证计划
2.6.3 洁净室工作服和防静电服
2.6.4 鞋束
2.6.5 手套、内衬和指套
2.7 耗材和附件
2.7.1 包装
2.7.2 干燥剂
2.7.3 手提箱、垃圾箱等运输容器
2.7.4 笔记本和活页夹
……
第3章 样品采集与分析
第4章 污染和防静电工作区设计
第5章 如何获得清洁的零部件：零部件清洗作业
第6章 工具设计和认证
第7章 连续监测
第8章 耗材和包装材料
第9章 人为污染控制与静电控制
第10章 更衣室布局
第11章 程序和文件