智能传感与检测技术

目 录 第1章 概述 1 1.1 传感技术 3 1.1.1 传感器的定义与分类 3 1.1.2 传感器的基本特性 4 1.1.3 传感器的标定与校准 10 1.1.4 传感器的选用原则 13 1.2 检测技术 13 1.2.1 检测技术的发展背景 13 1.2.2 检测技术的基本概念 15 1.2.3 检测系统的结构 15 1.2.4 传感器的测量误差 16 1.3 检测数据的处理 18 1.3.1 检测数据的表示 18 1.3.2 数据误差的处理方法 21 1.4 传感器与检测技术的发展趋势 26 1.4.1 传感器的发展趋势 26 1.4.2 检测技术的发展趋势 27 第2章 传统传感器 29 2.1 传感器的功能材料 29 2.1.1 功能材料的分类与作用 30 2.1.2 半导体材料 31 2.1.3 功能陶瓷材料 33 2.1.4 功能高分子材料 34 2.1.5 纳米材料 34 2.1.6 智能材料 35 2.2 传感器的加工工艺 37 2.2.1 结构型传感器的加工工艺 38 2.2.2 厚膜工艺 38 2.2.3 薄膜工艺 39 2.2.4 微机械工艺 40 2.3 物理传感器 40 2.3.1 电阻式传感器 41 2.3.2 电感式传感器 42 2.3.3 电容式传感器 46 2.3.4 压电式传感器 49 2.3.5 磁电式传感器 53 2.3.6 光电式传感器 57 2.4 化学传感器 65 2.4.1 气体传感器 65 2.4.2 湿度传感器 69 2.5 生物传感器 74 2.5.1 酶传感器 77 2.5.2 微生物传感器 78 2.5.3 免疫传感器 79 2.5.4 核酸传感器 81 2.5.5 细胞传感器 84 2.5.6 生物芯片 85 2.5.7 生物传感器的应用 91 第3章 智能传感器 95 3.1 智能传感器概述 95 3.1.1 智能传感器的基本功能与特点 96 3.1.2 智能传感器的架构 99 3.1.3 智能化实现方法 102 3.1.4 典型的智能传感器 111 3.2 智能传感器的标准 115 3.2.1 智能传感器的标准概述 115 3.2.2 IEEE 1451网络化智能传感器标准 116