电子与光子材料手册:第3册:电子材料

缩略语part c 电子材料 21 单晶硅：电学与光学特性 21.1 硅基 21.2 电学特性 21.3 光学特性 参考文献 22 硅-锗：特性、生长和应用 22.1 硅-锗物理特性 22.2 硅-锗光学特性 22.3 硅-锗生长 22.4 多晶硅-锗 参考文献 23 砷化镓 23.1 gaas的体生长 23.2 gaas的外延生长 23.3 gaas的扩散 23.4 gaas离子注入 23.5 gaas晶格缺陷 23.6 gaas的杂质与缺陷分析(化学) 23.7 gaas~勺杂质与缺陷分析(电学) 23.8 gaas的杂质与缺陷分析(光学) 23.9 复杂异质结的评估 23.10 gaas的电接触 23.11 gaas器件(微波) 23.12 gaas器件(电一光) 23.13 gaas的其他应用 23.14 结论 参考文献 24 高温电子材料：碳化硅与金刚石 24.1 材料的特性与制备 24.2 电子器件 24.3 总结 参考文献 25 非晶态半导体：结构、光学与电学特性 25.1 电子态 25.2 结构特性 25.3 光学特性 25.4 电学特性 25.5 光诱导现象 25.6 纳米非晶态结构 参考文献 26 非晶态与微晶硅 26.1 等离子体sih4与sih4h2的反应 26.2 表面薄生长 26.3 a—si：h与uc—si:h缺陷密度测定 26.4 器件应用 26.5 硅薄膜太阳能电池材料的相关问题研究进展 26.6 总结 参考文献 27 铁电体材料 27.1 铁电体材料 27.2 铁电体材料制备技术 27.3 铁电体应用 参考文献 28 微电子电介质材料 28.1 栅极电介质 28.2 隔离电介质 28.3 电容电介质 28.4 互连电介质 28.5 总结 参考文献 29 薄膜 29.1 淀积形成方法 29.2 结构 29.3 特性 29.4 结论 参考文献 30 厚膜 30.1 厚膜工艺 30.2 衬底 30.3 厚膜材料 30.4 组件与装配 30.5 传感器 参考文献