微型惯性器件及系统技术

第1章 绪论1.1 微惯性器件发展历史及技术现状1.2 微惯性器件应用及发展方向1.3 微惯性传感器主要厂商及其特点参考文献第2章 振动式硅微机械陀螺2.1 振动式硅微机械陀螺的基本理论及模型2.1.1 振动式硅微机械陀螺的基本原理2.1.2 振动式硅微机械陀螺的典型结构2.1.3 振动式硅微机械陀螺动力学方程2.1.4 线振动微机械陀螺的动态输出特性2.1.5 小结2.2 敏感结构的设计2.2.1 材料特性2.2.2 总体设计2.2.3 关键结构设计2.3 信号检测、处理和运动控制2.3.1 微小电容检测技术2.3.2 信号处理与提取2.3.3 陀螺运动控制2.4 测试技术2.4.1 振动式硅微机械陀螺主要指标2.4.2 测试方法2.4.3 数据处理参考文献第3章 硅微机械加速度计3.1 硅微挠性加速度计3.1.1 梳齿式电容加速度计3.1.2 “跷跷板”摆式电容加速度计3.1.3 “三明治”摆式电容加速度计3.2 硅微谐振式加速度计3.2.1 工作原理3.2.2 结构特点3.2.3 系统组成3.3 硅微静电悬浮式加速度计3.3.1 工作原理3.3.2 结构特点3.3.3 系统组成参考文献第4章 微型气流式陀螺4.1 工作原理及模型4.1.1 对流换热原理4.1.2 热敏元件的检测方法4.1.3 系统信号检测电路4.2 微型热对流陀螺4.2.1 器件结构和工作原理4.2.2 系统建模及数值模拟4.2.3 陀螺加工工艺4.2.4 交叉耦合效应及补偿技术4.3 微型射流陀螺4.3.1 器件结构和工作原理4.3.2 数值模拟分析方法4.3.3 陀螺加工工艺4.4 总结参考文献第5章 MEMS热对流加速度传感器5.1 热对流加速度传感器工作原理5.2 计算机仿真与分析5.2.1 线性度分析5.2.2 灵敏度分析5.3 结构设计和制作工艺5.4 三轴微型热对流加速度传感器5.4.1 三轴热对流加速度传感器工作机理5.4.2 三轴热对流加速度传感器结构设计5.4.3 三维流体场的计算机仿真5.4.4 三轴微型热对流加速度传感器三维立体加工5.4.5 三轴微型热对流加速度传感器的封装5.5 检测电路5.5.1 加热器温度控制电路的模型和控制电路5.5.2 加速度信号检测电路参考文献第6章 微惯性系统技术6.1 微惯性测量单元（MIMu）的基本概念和组成6.1.1 MIMU的发展现状6.1.2 MIMU的组成6.2 MIMU的基本种类和工作原理6.2.1 微机械航姿参考系统6.2.2 微型惯性导航系统6.2.3 微惯性卫星组合导航系统6.2.4 无陀螺捷联导航系统6.2.5 多传感器融合系统6.2.6 多轴单片集成系统6.3 MIMU的应用和发展6.3.1 武器装备6.3.2 航空航天6.3.3 车辆6.3.4 船舶6.3.5 石油勘探6.3.6 机器人6.3.7 医疗健康6.3.8 消费电子参考文献