- ISBN:9787030444943
- 装帧:一般胶版纸
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 开本:其它
- 页数:152
- 出版时间:2015-06-01
- 条形码:9787030444943 ; 978-7-03-044494-3
本书特色
由王姝娅、戴丽萍、钟志亲、王刚、杜江锋编* 的《微电子制造技术实验教程》是面向微电子及相关 专业的实验教程,以微电子器件制造过程为主线,重 点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础 知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、 离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础 知识和基础实验,详细阐述各项单步工艺的实验原理 、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器 件制造过程中的物理性能测试实验和电学性能测试实 验。第4章介绍二极管、肖特基二极管、三极管、 cmos管、集成电阻器等器件的制造以及集成运算放大 器的参数测试、逻辑ic功能和参数的测试两个综合实 验。全书共28个实验项目,各实验相对独立,不同学 校可根据实际实验条件选用。 本书可作为高等院校微电子及相关专业的实验教 材,也可作为教师和一般微电子制造工程技术人员的 参考资料。
内容简介
本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验,同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力,注重实验的操作。
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