双质量线振动硅微机械陀螺仪

第1章 绪论
1．1 硅微机械陀螺仪及其发展
1．1．1 硅微机械陀螺仪的优点
1．1．2 硅微机械陀螺仪分类
1．2 硅微机械陀螺仪的发展
1．2．1 国外研究现状
1．2．2 国内研究现状
1．3 硅微机械陀螺仪设计过程

第2章 硅微机械陀螺仪原理及结构
2．1 引言
2．2 硅微机械陀螺仪的力学原理
2．2．1 哥氏加速度
2．2．2 硅微机械陀螺仪动力学方程
2．3 硅微机械陀螺仪运动方程
2．4 梳齿静电力驱动和检测原理
2．4．1 平板电容静电力产生原理
2．4．2 梳齿电容检测原理
2．4．3 梳齿电容静电力驱动原理
2．5 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构设计
2．5．1 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构整体分析
2．5．2 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构模态分析
2．5．3 重力作用下的静态应力仿真
2．5．4 *大位移时应力
2．5．5 冲击仿真
2．5．6 热应力仿真
2．5．7 谐响应分析
2．6 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构加工
2．7 本章小结

第3章 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构噪声分析和系统模型
3．1 引言
3．2 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构等效电气模型和接口
3．2．1 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构等效电气模型
3．2．2 环形二极管接口电路的抗噪特性
3．2．3 环形二极管接口电路的工作原理
3．3 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构系统模型
3．4 双质量线振动硅微机械陀螺仪驱动技术研究
3．4．1 双质量线振动硅微机械陀螺仪自激驱动闭环方案
3．4．2 双质量线振动硅微机械陀螺仪驱动回路工作点分析
3．4．3 双质量线振动硅微机械陀螺仪驱动系统仿真
3．4．4 双质量线振动硅微机械陀螺仪驱动系统测试
3．5 硅微机械陀螺仪结构噪声
3．5．1 结构噪声分析
3．5．2 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构噪声测试
3．6 本章小结

第4章 双质量线振动硅微机械陀螺仪正交校正技术研究及优化
4．1 引言
4．2 双质量线振动硅微机械陀螺仪结构误差
4．2．1 正交误差
4．2．2 阻尼不对称
4．3 双质量线振动硅微机械陀螺仪输出信号的组成
4．3．1 哥氏信号
4．3．2 机械耦合信号
4．3．3 电耦合信号
4．3．4 力耦合信号
4．3．5 双质量线振动硅微机械陀螺仪输出信号
4．3．6 正交信号对双质量线振动硅微机械陀螺仪输出信号的影响
4．4 双质量线振动硅微机械陀螺仪正交误差校正
4．4．1 含有耦合刚度和阻尼的系统模型
4．4．2 电荷注入法
4．4．3 正交力校正法
……
第5章 双质量线振动硅微机械陀螺仪检测闭环和频率调谐技术研究
第6章 温度对硅微机械陀螺仪的影响及抑制方法
第7章 双质量线振动硅微机械陀螺仪测控电路设计及测试技术
参考文献