芯人物 致中国强芯路上的奋斗者

　　《芯人物：致中国强芯路上的奋斗者》：　　1963年，我国还处在第二代电子器件——晶体管的生产阶段。在774厂的半导体车间里生产苏联型号的半导体晶体管，可以用来组装半导体收音机。　　朱贻玮被分配到半导体车间，开始参与清洗、测试、扩散等工序劳动，后来被安排搞拉丝新工艺试验。第二年，朱贻玮被调到试制组，参加筹备硅平面管大组。“当时，产业还处在开荒阶段，很多基本的工艺设备都需要亲手做。自己画草图，然后加工零部件，再组装，通电调试。我参加制作的是氧化扩散炉。”朱贻玮讲道。后来，试制组改为实验室“三室”。　　机会总是给有准备的人。1965年5月，朱贻玮被三室领导安排试制固体电路的工作，与同事们一同独立自主地研制出了用于第三代电子计算机的第三代电子器件——固体电路。“在早期，集成电路在我国叫作'固体电路'，后来慢慢改称为'集成电路'。”朱贻玮提到这个概念的演变。　　而那一时期，正是中国集成电路进入芝麻开花——节节高的阶段。中国科学院半导体研究所、北京无线电技术研究所、中国科学院156工程处、石家庄十三所和上海元件五厂等单位相继研制成功集成电路。　　关于我国集成电路产业的起点，朱贻玮说：“难以判别是哪家首先研究出固体电路，但是石家庄十三所1965年年底举行了一批半导体器件设计定型鉴定会，是国内首家举行固体电路设计定型会的单位。因此，我在以后所写的文章里将其定为我国集成电路产业的起点。”　　如果以世界上**块集成电路研制成功是在1958年来算，中国芯片的起步只晚7年。　　然而，1966年全国进入“文化大革命”时期，科研单位的不少项目和课题停止或延缓。在774厂里，也是铺天盖地的大字报。为了确保试制任务，朱贻玮要求固体电路组的三十多名组员，平时可以去看大字报参加运动，但电路芯片流到哪一个工序，相关人员要回来参加生产，不要耽误流片。幸运的是，774厂三室的试制工作始终没有停止。不幸的是，因家庭出身不好，作为党支部宣传委员、固体电路大组长的朱贻玮也被贴上了大字报，他被说成是“资产阶级孝子贤孙，白专道路上勇士”。　　半导体是一个技术门槛极高且技术迭代非常快的领域，但在当时，对半导体产业发展规律认识的不足，不仅导致产业化推进速度缓慢，还闹出过很多荒唐的事情，报纸上甚至报道上海××弄堂里街道老奶奶靠拉扩散炉也做出了半导体。　　1968年，我国**个半导体集成电路专业化工厂——东光电工厂（878厂）在北京建立，筹备组和北京无线电工业学校合并，朱贻玮被调到878厂的筹备组。到岗的**项工作就是清点半导体车间里的设备和仪器，看看哪些能用于集成电路试制，然后组织工人使用这些简陋的设备试制集成电路。有的工序做不了，工人就拿硅片到774厂去做。这样的条件下，在不长的时间内居然也试制成878厂**块集成电路。　　在那个年代有的材料买不到，就自己生产四氯化硅和硅烷；集成电路所用外壳也由自己生产。“那时的的确确是IDM模式（集成制造模式），从设计版图、刻红膜照大相开始，经过芯片制造工艺，到外壳生产，再进行后部压焊、封装成成品，*后经过成品测试、包装后入库出厂。”朱贻玮回忆道。　　由于各种条件达不到，当时国内生产的集成电路普遍质量不好，导致电子计算机整机调不出来，一度出现“集成电路不如晶体管，晶体管不如电子管”那种“一代不如一代”的局面。“经过调查研究，大家总结出造成集成电路质量差的原因是四个字：脏、虚、伤、漏，即肮脏、虚焊、划伤和漏气。”朱贻玮指出。　　为此，朱贻玮在广交会上与德国西门子公司进行技术交流后又到上海兄弟厂学习，和技术人员一起针对存在的问题采取相应的改进措施，又对组成电路的元器件进行不同设计的试验，摸索各种元器件性能对门电路高低温性能的影响，从而进行电路设计的改进，*终，提高了集成电路质量，将改进后的集成电路供应给738厂调出了小型电子计算机。　　1973年8月，北京大学电子仪器厂研制成功我国**台100万次大型电子计算机，采用的就是朱贻玮所在的878厂生产的TTL中速电路和S-TTL高速电路，从而扭转了“一代不如一代”的局面。　　……