金刚石膜粒子探测器材料

丛书序
前言

**章 绪论
1．1 金刚石膜的结构
1．2 金刚石膜的优异特性
1．3 化学气相沉积法金刚石膜的制备技术
1．4 金刚石膜在光电领域中的主要应用
参考文献

第二章 自支撑金刚石膜的制备
2．1 实验设备及原理介绍
2．2 金刚石膜的制备工艺研究
2．3 自支撑金刚石薄膜的性能
参考文献

第三章 金刚石膜表面导电性能研究
3．1 引言
3．2 实验过程
3．3 自支撑金刚石膜的导电性能
3．4 本章小结
参考文献

第四章 金刚石膜肖特基场效应晶体管
4．1 引言
4．2 金刚石与金属电极的接触特性
4．3 MESFET器件制备及性能研究
4．4 本章小结
参考文献

第五章 金刚石膜紫外光探测器
5．1 引言
5．2 ZnO材料概述
5．3 ZnO制备及测试
5．4 实验结果与讨论
5．5 ZnO/金刚石结构紫外光探测器的性能研究
5．6 本章小结
参考文献

第六章 金刚石厚膜生长及其在微电子器件中的热沉应用
6．1 引言
6．2 氧化铝衬底的碳离子预注入
6．3 氧化铝上金刚石膜的成核分析
6．4 金刚石的厚膜生长及应力分析
6．5 金刚石薄膜/氧化铝复合材料性质研究
参考文献

第七章 纳米金刚石膜X射线探测器
7．1 纳米金刚石膜的制备和性能表征
7．2 纳米金刚石膜粒子探测器工艺及性能表征
7．3 氢刻蚀对纳米金刚石膜电学和光学性能的影响
7．4 强磁场下纳米金刚石膜生长及性能表征
参考文献

第八章 金刚石膜α粒子探测器
8．1 CVD金刚石膜粒子探测器的研制
8．2 CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室研制
参考文献
……

第九章 粒子探测器读出电路电子系统
第十章 金刚石膜生物传感器及在其它光电声等领域应用