精密纳米计量学

1测量表面坡度和倾斜运动的角度传感器


1．1简介；1．2带有象限光电二极管的角度传感器；1．3带有光电二极管阵列的角度传感器；1．4带有单元光电二极管的角度传感器；1．5小结；1．6参考


2用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪


2．1引言；2．2双轴激光自准直仪；2．3单镜头激光微自准直仪；2．4三轴激光自准直仪；2．5总结


3用于测量面内运动的表面编码器


3．1引言；3．2用于MDOF面内运动的表面编码器；3．3两轴正弦网格表面编码器的制造；3．4表面编码器在表面电机驱动平面阶段的应用；3．5总结；3．6参考文献


4用于测量平面内和平面外运动的光栅编器


4．1介绍；4．2二自由度线性光栅编码器；4．3带正弦网格的三轴光栅编码器；4．4矩形XY网格的三轴光栅编码器；4．5总结；4．6参考文献


5测量圆度的扫描多探针系统


5．1介绍；5．2坡度传感器方法；5．3混合方法；5．4总结；5．5参考文献


6测量直线度的扫描误差分离系统


6．1简介；6．2具有自调零的三位移传感器方法；6．3机床滑块的误差分离方法；6．4总结；6．5参考


7微型非球面的测量的扫描微型手写笔系统


7．1简介；7．2扫描错误动作补偿；7．3微型探针；7．4微型非球面的小型测量仪器；7．5总结；7．6参考文献


8用于微纹理表面的大面积扫描探针显微镜


8．1简介；8．2电容式传感器补偿扫描探针显微镜；8．3线性编码器补偿扫描探针显微镜；8．4螺旋扫描探针显微镜；8．5总结；8．6参考


9测量三维纳米结构的自动对准扫描探针显微镜系统


9．1简介；9．2自动对准光学探针；9．3自动对准AFM的仪器；9．4小结；9．5参考


10用于测量微小尺寸的扫描图像传感器系统


10．1介绍；10．2微宽度测量的扫描区域图像传感器；10．3微小半径测量的扫描线图像传感器；10．4总结；10．5参考