精芯打造 集成电路的制造设备

**章 “精密”之旅——走近集成电路制造设备

“摩尔定律”的魔法术

空气洁净度

精密的尺度

“纳米城市”的质量标准

第二章 “精”彩纷呈——揭开集成电路制造设备的神秘面纱

走进洁净室

洁净室的特别之处

集成电路制造设备的“十八般武艺”

第三章 精准的“注射”高手——离子注入机

芯片为什么需要“杂质”

“注射”是一门大学问

“蓄势待发”的离子源

“万箭齐发”的束线

“工艺腔”里的故事

第四章 精湛的“摄影”大师——光刻机

走近光刻机

如何评判光刻机的“武功”

光刻机的“光”是怎么来的

光刻机“照相”的过程

光刻机内部的“跑步冠军”

光刻机里的“大哥大”——极紫外光刻机

第五章 精密的“雕刻”行家——刻蚀机

“雕刻”行家也用“刀”吗

神秘的“雕刻魔法”之湿法刻蚀

神秘的“雕刻魔法”之干法刻蚀

“雕刻”行家特殊的工作环境

如何评估“雕刻”的水平

第六章 精确的“制衣”能手——薄膜沉积设备

芯片喜欢穿什么样的“衣服”

“制衣”能手的绝活儿

物理“制衣”法——物理气相沉积设备

化学“制衣”法——化学气相沉积设备

原子“制衣”法——原子层沉积设备

第七章 日益“精”进——集成电路制造设备的竞争格局

“英雄辈出”——集成电路制造设备主要厂商

“群雄逐鹿”——集成电路制造设备的市场格局

“奋起直追”——中国集成电路制造设备的发展之路

参考文献

后记