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金刚石半导体器件前沿技术

金刚石半导体器件前沿技术

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  • ISBN:9787560664866
  • 装帧:一般胶版纸
  • 册数:暂无
  • 重量:暂无
  • 开本:其他
  • 页数:232
  • 出版时间:2022-10-01
  • 条形码:9787560664866 ; 978-7-5606-6486-6

内容简介

本书以作者近年来的研究成果为基础,结合国际研究进展,系统地介绍了金刚石超宽禁带半导体器件的物理特性和实现方法,重点介绍了氢终端金刚石场效应管器件。全书共8章,内容包括绪论、金刚石的表面终端、氢终端金刚石场效应管的原理和优化、金刚石微波功率器件、基于各种介质的氢终端金刚石MOSFET、金刚石高压二极管、石墨烯/金刚石复合器件及金刚石半导体器件的展望。本书可供微电子、半导体器件和材料领域的研究生与科研人员阅读。

目录

第1章绪论 参考文献 第2章金刚石的表面终端 2.1氢终端金刚石表面 2.2氧终端金刚石表面 2.3氟终端金刚石表面 2.4氮终端金刚石表面 参考文献 第3章氢终端金刚石场效应管的原理和优化 3.1氢终端金刚石表面导电沟道 3.1.1氢终端金刚石表面导电沟道的形成机理 3.1.2氢终端金刚石表面p型电导特性 3.1.3氢终端金刚石表面空穴的输运特性 3.2氢终端金刚石场效应管的工作原理 3.2.1栅极结构和特性 3.2.2器件结构与工作原理 3.3氢终端金刚石场效应管特性的仿真研究 ……
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