晶体硅太阳电池制造工艺原理(第2版)

第1章 绪论
1． 1 光伏效应
1． 2 阳光资源
1． 3 太阳能光伏发电系统
1． 3． 1 太阳能光伏发电系统的结构
1． 3． 2 分布式光伏发电系统
1． 3． 3 微电网系统
1． 3． 4 大型光伏电站
1． 4 晶体硅太阳电池和组件的制造
参考文献
第2章 太阳能用多晶硅生产工艺
2． 1 西门子法
2． 2 硅烷法
2． 3 流化床法
2． 4 冶金法
参考文献
第3章 太阳电池用硅晶体生长工艺
3． 1 直拉单晶硅
3． 1． 1 直拉单晶炉
3． 1． 2 直拉单晶工艺
3． 1． 3 直拉单晶的影响因素
3． 1． 4 杂质的引入、分布和掺杂
3． 2 铸造多晶硅
3． 2． 1 多晶硅铸造技术
3． 2． 2 定向凝固多晶硅铸锭炉
3． 2． 3 多晶硅铸锭炉热场数学模型
3． 2． 4 多晶硅铸造生长工艺
3． 2． 5 铸造多晶硅生长的影响因素
3． 2． 6 准单晶硅和高效多晶硅
3． 2． 7 多晶硅铸锭用坩埚
参考文献
第4章 硅片多线切割及测试
4． 1 硅片多线切割
4． 2 硅晶体性能及测试
4． 2． 1 涡流法电阻率检测
4． 2． 2 硅块少子寿命测试
4． 2． 3 硅块红外探伤
4． 2． 4 无接触硅片厚度测试
4． 2． 5 硅片分选
4． 2． 6 晶体硅中的氧
4． 2． 7 晶体硅中的碳
4． 2． 8 晶体硅中的金属杂质及影响
4． 2． 9 位错和缺陷
参考文献
第5章 硅片的清洗和制绒
5． 1 硅片的选择
5． 2 硅片清洗
5． 2． 1 硅片表面的沾污源
5． 2． 2 化学清洗原理
5． 2． 3 物理清洗原理
5． 2． 4 硅片及器具的清洗
5． 3 硅片腐蚀减薄
5． 4 硅片绒面制备
5． 4． 1 碱腐蚀单晶硅片制绒
5． 4． 2 酸腐蚀多晶硅片制绒
5． 4． 3 硅片制绒质量检验
5． 5 硅片制绒新技术
参考文献
第6章 掺杂制备pn结
6． 1 扩散法掺杂制备pn结
6． 1． 1 扩散现象
6． 1． 2 扩散层杂质浓度分布
6． 1． 3 两步扩散法制结原理
6． 1． 4 固-固扩散制结原理
6． 1． 5 扩散制结的质量参数
6． 1． 6 扩散制结条件的选择
6． 1． 7 p型硅片的磷扩散制结工艺
6． 1． 8 扩散制结的质量检测
6． 2 离子注入掺杂制结
6． 2． 1 离子注入掺杂的原理
6． 2． 2 注入离子的离子分布
6． 2． 3 注入离子的离子阻滞
6． 2． 4 离子注入的沟道效应
6． 2． 5 离子注入损伤与退火
6． 2． 6 离子注入掺杂制结工艺
参考文献
第7章 硅片表面和边缘刻蚀
7． 1 干法刻蚀边缘扩散层
7． 1． 1 等离子体刻蚀
7． 1． 2 激光边缘刻蚀隔离
7． 2 湿法刻蚀表面磷硅玻璃
7． 3 湿法刻蚀扩散层
7． 3． 1 湿法刻蚀扩散层原理
7． 3． 2 硅片漂浮方式湿法刻蚀
7． 3． 3 滚轮携液方式的湿法刻蚀
7． 4 硅片周边表面刻蚀后的质量检查
参考文献
第8章 减反射膜/钝化膜制备与激光消融开孔
8． 1 减反射膜的减反射原理
8． 2 氮化硅减反射薄膜
8． 2． 1 氮化硅减反射薄膜沉积方法
8． 2． 2 氮化硅膜的热处理
8． 2． 3 双层减反射膜
8． 3 太阳电池的表面钝化技术
8． 4 Al2O3减反射/钝化膜
8． 5 激光消融开孔
参考文献
第9章 电极的丝网印刷、烧结和载流子注入退火
9． 1 电极的丝网印刷
9． 1． 1 丝网印刷金属浆料的作用
9． 1． 2 丝网印刷用材料、工具和设备
9． 1． 3 电极的丝网印刷工艺
9． 1． 4 金属栅线电极的高宽比及其测试方法
9． 1． 5 PERC太阳电池的电极设计
9． 1． 6 多主栅（MBB）太阳电池的主栅电极设计及其银浆用量
9． 1． 7 无网结网版丝印技术
9． 2 电极浆料烧结
9． 2． 1 电极浆料烧结机理
9． 2． 2 电极浆料烧结设备及工艺
9． 2． 3 电极浆料烧结质量要求
9． 3 恢复太阳电池效率的载流子注入退火
9． 4 太阳电池质量检测
参考文献
第10章 高转换效率晶体硅太阳电池
10． 1 硅基异质结（SHJ）太阳电池
10． 2 选择性发射极太阳电池
10． 3 浅结密栅太阳电池
10． 4 钝化发射极和背接触（PERC）太阳电池
10． 5 PERL和PERT结构太阳电池
10． 6 黑硅太阳电池
10． 7 叉指式背接触(IBC)太阳电池
10． 8 薄氧化层钝化接触（TOP-Con）太阳电池
10． 9 金属穿孔卷绕（MWT）太阳电池
10． 10 双面太阳电池及组件
10． 10． 1 PERC双面太阳电池及组件
10． 10． 2 PERT双面太阳电池及组件
参考文献
第11章 太阳电池组件
11． 1 太阳电池的串联和并联
11． 2 太阳电池组件的结构
11． 3 太阳电池组件的封装材料
11． 4 太阳电池组件的封装工艺
11． 5 太阳电池组件的电位诱发衰减（PID）效应
11． 6 半片太阳电池组件
11． 7 叠瓦太阳电池组件
11． 8 双面玻璃封装太阳电池组件
11． 9 金属背板太阳电池组件
11． 10 特种太阳电池组件
11． 11 太阳电池组件的性能测试
参考文献
第12章 太阳电池及其组件的测试
12． 1 太阳辐射的基本特性
12． 2 太阳模拟器
12． 3 太阳电池测试
12． 3． 1 光电性能测试
12． 3． 2 其他性能测试
12． 4 太阳电池组件测试
12． 4． 1 太阳电池组件的光电性能测试
12． 4． 2 太阳电池组件的设计鉴定和定型
12． 4． 3 太阳电池组件的安全鉴定
12． 4． 4 太阳电池组件的其他试验
12． 4． 5 太阳电池组件的可靠性测试
12． 5 太阳电池组件的室外测试
12． 6 太阳电池和组件的诊断测试
12． 6． 1 电致发光(EL)测试
12． 6． 2 光诱导电流(LBIC)测试
12． 6． 3 其他诊断测试方法
12． 6． 4 诊断测试性能分析举例
12． 7 太阳电池和组件的认证
参考文献
附录A 太阳电池的光致衰减现象及桶理论
附录B 双面太阳电池/组件的光电性能测试