微纳制造科学与技术 : 从基本原理到工程应用

第1章绪论(1)1.1引言(1)1.2微纳制造的发展历程(3)1.3微纳制造的内涵与外延(5)1.4挑战与发展趋势(10)习题(13)本章参考文献(13)第2章微纳尺度的物理化学(17)2.1引言(17)2.2电磁波和物质波(17)2.2.1电磁波(17)2.2.2波粒二象性(18)2.2.3物质波(25)2.3物质结构(26)2.3.1原子结构(26)2.3.2晶体结构(28)2.3.3能带理论(33)2.4加工尺寸效应(34)2.4.1光学曝光(35)2.4.2激光加工(36)2.4.3粒子束加工(36)习题(37)本章参考文献(37)第3章纳米材料与结构(40)3.1引言(40)3.1.1纳米材料的发展历程(40)3.1.2纳米材料的特性(42)3.1.3纳米材料与结构的分类(44)3.2零维纳米材料(46)3.2.1富勒烯(46)3.2.2纳米颗粒(48)3.2.3量子点(52)3.3一维纳米材料(55)3.3.1碳纳米管(55)3.3.2纳米线(58)3.4二维纳米材料(61)3.4.1石墨烯(61)3.4.2氮化硼(64)3.4.3层状金属化合物(64)3.5三维纳米材料(65)3.5.1MOFs材料与结构(65)3.5.2三维有序大孔结构(68)3.5.3介孔纳米结构材料(69)习题(70)本章参考文献(71)第4章微纳制造及加工技术(77)4.1引言(77)4.2微纳米图案化(78)4.2.1微纳加工技术(78)4.2.2光刻(80)4.2.3刻蚀(86)4.2.4高能束加工(88)4.3纳米压印(91)4.3.1热压印技术(91)4.3.2紫外光固化纳米压印技术(91)4.3.3软刻蚀压印(92)4.3.4大面积滚轴压印(93)4.3.5纳米压印的应用及技术挑战(93)4.4纳米结构自组装(93)4.4.1纳米结构自组装体系的基本概念(93)4.4.2薄膜自组装(94)4.4.3管状结构自组装(96)4.4.4纳米颗粒自组装(98)4.4.5浸笔式纳米光刻技术(99)4.4.6自组装技术的发展趋势(100)4.5薄膜沉积(100)4.5.1物理气相沉积(100)4.5.2化学气相沉积(102)4.5.3原子层沉积(104)4.6探针加工方法(109)4.6.1基于原子力显微镜探针的纳米加工(109)4.6.2基于扫描隧道显微镜探针的纳米加工(113