垂直磁记录材料L10-FePt 薄膜的微观结构与织构控制

第1章绪论1.1磁记录材料1.1.1磁记录材料与技术发展1.1.2磁记录技术原理简介1.1.3超高密度磁记录材料1.2 L1o-FePt薄膜1.2.1 L1o-FePt的结构与性质1.2.2 L1o-FePt薄膜的研究进展1.2.3 L1o-FePt薄膜的有序化转变1.2.4 L1o-FePt薄膜中的纤维织构1.3磁控溅射镀膜技术概况1.3.1磁控溅射工作原理1.3.2磁控溅射薄膜的生长过程1.3.3磁控溅射薄膜组织结构控制1.4薄膜结构的分析测试方法1.4.1 X射线衍射仪1.4.2扫描电子显微镜1.4.3原子力显微镜1.4.4透射电子显微镜第2章磁控溅射制备FePt薄膜的有序化转变2.1溅射气压对FePt薄膜的有序化转变的影响2.1.1不同溅射气压下FePt薄膜的晶体结构2.1.2不同溅射气压下FePt薄膜的表面形貌2.1.3不同溅射气压下FePt薄膜的微观结构2.1.4不同溅射气压下FePt薄膜的磁性能2.2 FePt薄膜的晶粒长大过程研究2.2.1不同退火状态下FePt薄膜的晶粒尺寸2.2.2 FePt薄膜的晶粒长大机制，2.3 FePt薄膜的有序化转变动力学研究2.4本章小结第3章L1o-FePt薄膜中织构的形成机理....3.1 L1o-FePt薄膜织构的形成过程，3.2 L1o-FePt薄膜的各向异性弹性常数3.3 L1o-FePt薄膜中应力与织构的关系3.4 本章小结第4章有序化退火对 L1o-FePt薄膜织构的影响4.1实验方法4.2退火温度对 L1o-FePt薄膜织构的影响4.3退火时间对 L1o-FePt薄膜织构的影响4.4退火过程中L1o-FePt薄膜微观结构的变化4.5本章小结