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  • ISBN：9787118128963
  • 装帧：平装-胶订
  • 册数：暂无
  • 重量：暂无
  • 开本：其他
  • 页数：196
  • 出版时间：2024-02-01
  • 条形码：9787118128963 ; 978-7-118-12896-3

内容简介

书中重点聚焦于固体中电子输运过程的仿真方法、二次电子发射特性仿真分析及其应用三个部分。首先主要介绍了电子散射截面计算方法、随机数、*小值、蒙特卡罗仿真策略等；然后在二次电子发射特性仿真分析重点讨论了背散射系数、二次电子发射系数、二次电子能谱的计算结果；*后讨论了仿真方法在SEM中线宽测量、能量选择扫描电子掺杂衬度计算以及PMMA中的能量沉积。第三版是前两版内容的延伸，更新内容包括了电子束的自旋极化理论、分子弹性散射的研究，Bethe-Bloch阻止本领公式的简化、f-sum规则、ps-sum规则、用于计算背散射系数的Vicanek和Urbassek公式以及二次电子能谱的Wolff理论。第3版中电子与物理相互作用的理论更为全面，蒙特卡罗仿真的实用性也更强。

目录

**章 固体中电子的输运； 第二章 *小值计算； 第三章 散射截面：基本原理； 第四章 散射机制； 第五章 随机数； 第六章 蒙特卡洛策略； 第七章 电子束与固体和薄膜互作用的基本理论； 第八章 背散射系数； 第九章 二次电子发射系数； 第十章 二次电子能量分布； 第十一章 应用
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作者简介

张娜，博士，高级工程师，中国空间技术研究院杰青人才，主要研究领域为二次电子发射及空间微波特殊效应。获陕西省科学技术二等奖1项（“二次电子发射特性关键技术及其应用”，技术发明类），获国防技术发明二等奖2项。在国际重要会议和期刊等发表学术论文20余篇，其中SCI、EI收录10余篇，授权发明专利12项。申请者出版译著1部，共同出版专著、编著等3部。

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