射频空心阴极放电特性及其条纹不稳定性研究

**章 绪论
1.1 研究背景和意义
1.2 射频空心阴极放电的研究进展
1.2.1 空心阴极效应
1.2.2 射频空心阴极放电中的电子加热
1.2.3 密度增强的射频空心阴极放电研究
1.3 气体放电中的条纹研究
1.3.1 气体放电条纹的背景介绍
1.3.2 直流辉光放电中的条纹
1.3.3 射频放电中的条纹
1.3.4 其他放电系统中的条纹
1.4 本书的研究内容与安排
第二章 PIC/MCC数值模拟方法
2.1 概述
2.2 PIC方法
2.2.1 电荷分配方法
2.2.2 泊松方程
2.2.3 粒子推进
2.3 MCC模型
2.4 碰撞后速度的确定
2.5 本书采用的结构模型
2.5.1 模型描述
2.5.2 代码验证
第三章 RF-HCD中的空心阴极效应
3.1 RF-HCD中HCE的一般特性
3.1.1 存在HCE时的电子密度分布
3.1.2 改变孔径对HCE的影响
3.1.3 射频电压的周期性变化对HCE的影响
3.1.3.1 空心电极鞘层扩张时的鞘层动力学
3.1.3.2 空心电极鞘层塌缩时的鞘层动力学
3.1.4 射频空心阴极放电中HCE的变化规律
3.1.4.1 空心电极鞘层扩张时的HCE变化规律
3.1.4.2 空心电极鞘层塌缩时的HCE变化规律
3.2 HCE的影响因素
3.2.1 电压对HCE的影响
3.2.2 二次电子发射系数对HCE的影响
3.2.3 外加偏压对HCE的影响
3.2.4 电极间距对HCE的影响
3.2.5 孔深对HCE的影响
3.2.6 孔径对HCE的影响
3.2.7 气压对HCE的影响
3.3 讨论
3.4 本章小结
第四章 RF-HCD中的孔外等离子体增强效应
4.1 RF-HCD中的孔外增强放电
4.2 孔外等离子体密度的影响因素
4.2.1 电压对孔外等离子体密度的影响
4.2.2 二次电子发射系数对孔外等离子体密度的影响
4.2.3 外加直流偏压对孔外等离子体密度的影响
4.2.4 孔深对孔外等离子体密度的影响
4.2.5 孔径对孔外等离子体密度的影响
4.2.6 气压对孔外等离子体密度的影响
4.3 讨论
4.4 本章小结
第五章 RF-HCD中的条纹现象
5.1 实验装置
5.2 低气压下RF-HCD中的条纹
5.3 放电参数对条纹的影响
5.3.1 功率对条纹的影响
5.3.2 气压对条纹的影响
5.3.3 管径对条纹的影响
5.3.4 孔深对条纹的影响
5.4 条纹化通道的电场及其与条纹间距ΔS的关系
5.5 RF-CCP条纹的机理
5.6 本章小结
第六章 总结和展望
6.1 本书主要工作和结论
6.2本书主要的创新性成果
6.3 对今后工作的展望
参考文献