丁衡高院士微米纳米技术文集

目录 发展战略研究 面向21世纪的军民两用技术——微米/纳米技术/（1995年6月）3 微型惯性测量组合/（1996年2月）17 微机电系统的科学研究与技术开发/（1997年9月）26 微小卫星应用微小型技术有关问题的思考/（1997年11月）39 微系统与微米/纳米技术及其发展/（2000年5月）47 MEMS技术发展战略研究中需考虑的几个主要问题/（2000年）60 关于微米/纳米技术的认识与思考/（2000年12月）76 微米/纳米技术当前发展动向/（2001年10月）87 抓住机遇，促进微米纳米技术新发展/（2003年2月）96 微纳技术进展、趋势与建议/(2006年12月)104 微米纳米科学技术发展及产业化启示/(2007年12月)124 MEMS器件研制与产业化/（2009年10月）141 在“MEMS在机械与运载工程领域的应用研究”咨询项目启动会上的讲话/(2012年5月)145 三十年不断发展的MEMS惯性传感器/（2023年10月）152 科学技术综述微型惯性测量组合的关键技术/（1996年2月）163 微机电系统技术的实际应用——微型仪器/（2000年4月）173 微惯性仪表技术的研究与发展/ （2001年12月）183 《微纳米加工技术及其应用》序/（2004年12月)193 微型化陀螺研究进展和展望/（2005年9月）195 《微纳系统》译丛总序/（2012年6月）209 微纳电极阵等离子体微系统/（2024年5月）224 科学技术研究叉指式硅微加速度计的结构设计/（1998年11月）241 微型光学陀螺仪中声表面波声光移频器的研究/（1999年2月）253 一种微型隧道效应磁强计的设计/（2000年8月）262 Investigation of the System Configuration for Micro Optic Gyros/（2005年）269 A MEMS Hybrid Inertial Sensor Based on ConvectionHeat Transfer/（2005年6月）282 Micromachined Gas Inertial Sensor Based on Convection Heat Transfer/(2006年1月)294 静电悬浮微机械加速度计设计/(2007年2月)312 A Study of Crossaxis Effect for Micromachined Thermal Gas Inertial Sensor/(2007年)324 Sensor Fusion Methodology to Overcome CrossAxis Problem for Micromachined Thermal Gas Inertial Sensor/(2009年)336 Modeling and Experimental Study on Characterization of Micromachined Thermal Gas Inertial Sensors/(2010年)355 A Micromachined Integrated Gyroscope and Accelerometer Based on Gas Thermal Expansion/(2013年)377 A Micromachined Gas Inertial Sensor Based on Thermal Expansion/(2014年)392 A Temperature Compensation Method for Micromachined Thermal Gas Gyroscope/(2015年)417 Thermal Characteristics of Stabilization Effects Induced by Nanostructures in Plasma Heat Source Interacting with Ice Blocks/(2022年)432 Reconfigurable Plasma Composite Absorber Coupled with Pixelated Frequency Selective Surface Generated by FDCGAN/(2022年12月)492