硅基光电子学

**章 绪论 1.1 从微电子到光电子 1.2 硅基光电子学的发展 1.3 硅基光电子学的应用 1.4 总结 参考文献第二章 硅中光子与电子的相互作用 2.1 波动光学与光子光学 2.2 半导体能带结构 2.3 硅基光子晶体带隙结构 2.4 硅中光子与电子空穴的相互作用 参考文献第三章 硅基光波导 3.1 电磁理论基础 3.2 光波导基本理论 3.3 波导耦合理论 3.4 SOI光波导 参考文献第四章 硅基无源器件 4.1 光栅器件 4.2 光子晶体平板波导 4.3 多模干涉耦合器 4.4阵列波导光栅 4.5 微环谐振腔 4.6 总结 参考文献第五章 硅基光源 5.1 光发射的基础理论 5.2 硅放大的限制 5.3 硅基发光材料 5.4 硅基发光二极管 5.5 硅基激光器 5.6 总结 参考文献第六章 硅基光学调制 6.1光学调制原理 6.2 光学调制评价 6.3 硅基电光调制 6.4 硅基热光调制 6.5 硅基声光调制 参考文献第七章 硅基光电探测器 7.1 光电探测器的基本原理 7.2 光电探测器的特性和结构 7.3 硅光电探测器 7.4 锗硅光电探测器 7.5总结 参考文献第八章 硅基表面等离子激元器件 8.1 表面等离子激元概述 8.2 表面等离子激元局域增强特性 8.3 表面等离子体激元器件 8.4 总结 参考文献第九章 硅基光电子器件工艺与系统集成 9.1 平面工艺 9.2 薄膜制备 9.3 光刻技术 9.4 刻蚀技术 9.5 系统集成 9.6 总结 参考文献第十章 硅基光电子学的应用 10.1 光互连――集成高速硅基互连芯片 10.2光通信――集成100Gbit/s相干传输芯片 10.3 光传感――集成光学传感片上系统芯片 10.4 太阳能电池参考文献