超材料光学射频探测原理与方法

第1章 光学射频信号探测的思路
1．1 光频红外与射频毫米波信号探测特征
1．2 太赫兹波谱特性
1．3 太赫兹波的产生、探测与典型应用
1．3．1 太赫兹波的产生
1．3．2 太赫兹波的探测
1．3．3 太赫兹技术典型应用
1．3．4 超材料微纳结构阵列的宽谱探测

第2章 太赫兹探测器基础
2．1 太赫兹波探测器
2．2 左手材料原理及特性
2．2．1 左手材料原理
2．2．2 左手材料特性
2．2．3 左手材料的实现方法

第3章 超材料探测方法
3．1 超材料基本特征
3．2 超材料器件微结构与电子学配置
3．3 共振单元形貌特征
3．4 超材料功能器件及其应用
3．4．1 采用能量吸收方式进行太赫兹信号探测
3．4．2 采用电压驱控的方式进行太赫兹信号调控与感测

第4章 超材料数值模拟
4．1 时域有限积分法
4．2 频域有限元法
4．2．1 电磁场数值计算的边界问题
4．2．2 频域有限元法的步骤
4．2．3 仿真算法性能
4．3 电磁场计算中的S参数模型
4．4 典型SRR单元微结构超材料仿真特性
4．4．1 典型微结构图案形态超材料太赫兹透射性能
4．4．2 开孔尺寸对共振特性的影响
4．4．3 线宽尺寸对共振频率的影响
4．5 小结

第5章 超材料器件的设计与制作
5．1 半导体基超材料
5．2 超材料关键制作工艺
5．2．1 清洗与成膜
5．2．2 涂光刻胶
5．2．3 前烘
5．2．4 对准和曝光
5．2．5 后烘
5．2．6 显影
5．2．7 坚膜
5．2．8 刻蚀
5．2．9 光刻检查
5．2．10 划片
5．2．11 压焊
5．3 基于微纳半导体工艺的面阵超材料探测器版图特征
5．4 肖特基型超材料的典型工艺流程
5．5 肖特基超材料电子学性能评估与分析
5．6 小结
……

第6章 超材料长波红外探测建模
第7章 基于连续太赫兹波的超材料信号感测
第8章 基于太赫兹时域光谱的电控超材料信号感测
第9章 超材料对光频红外信号的感应与探测
第10章 超材料对射频毫米波信号的感应与探测
第11章 超材料亚波长隐身技术
第12章 基于超材料的光学射频一体化探测架构

参考文献