惯性传感器技术

第1章 绪论
1．1 惯性传感器的基本概念及物理基础
1．1．1 加速度计的物理基础
1．1．2 陀螺仪的物理基础
1．2 惯性传感器的典型应用
1．2．1 惯性导航
1．2．2 制导控制回路
1．2．3 惯性姿态测量
1．2．4 惯性姿态稳定
1．2．5 高过载检测
1．3 惯性传感器的发展概况
1．3．1 加速度计
1．3．2 机械转子陀螺
1．3．3 振动陀螺
1．3．4 光学陀螺
1．3．5 新型陀螺
思考题
参考文献

第2章 加速度计
2．1 加速度计的基本原理
2．1．1 比力与加速度
2．1．2 摆式加速度计基本原理
2．1．3 振动式加速度计基本原理
2．2 石英挠性加速度计
2．2．1 石英挠性加速度计的组成结构与部件功能
2．2．2 信号检测与处理过程
2．2．3 石英挠性加速度计的误差模型
思考题
参考文献

第3章 MEMS加速度计
3．1 MEMS加速度计基础理论
3．1．1 机械灵敏度
3．1．2 带宽
3．1．3 机械热噪声
3．2 MEMS加速度计信号转换方式
3．2．1 电容检测式MEMS加速度计
3．2．2 压电检测式MEMS加速度计
3．2．3 压阻检测式MEMS加速度计
3．2．4 隧道电流检测式MEMS加速度计
3．2．5 谐振式MEMS加速度计
3．3 电容式MEMS加速度计信号检测技术
3．3．1 微弱电容检测原理
3．3．2 闭环检测技术
3．4 蝶翼式MEMS加速度计
3．4．1 蝶翼式MEMS加速度计结构设计及工作原理
3．4．2 蝶翼式MEMS加速度计加工工艺
3．4．3 蝶翼式MEMS加速度计性能测试
思考题
参考文献
……

第4章 机械转子陀螺
第5章 振动式MEMS陀螺
第6章 光学陀螺
第7章 新型惯性传感器技术
第8章 惯性传感器的精度测试与环境试验