微电子学概论(第2版)

序言第二版前言前言**章绪论1．1晶体管的发明1．2集成电路的发展历史1．3集成电路的分类1．3．1按器件结构类型分类1．3．2按集成电路规模分类1．3．3按结构形式的分类1．3．4按电路功能分类l.3．5集成电路的分类小结1．4微电子学的特点第二章半导体物理和器件物理基础2．1半导体及其基本特性2．1．1金属一半导体一绝缘体2．1．2半导体的掺杂2．1．3半导体的电导率和电阻率2．1．4迁移率2．2半导体中的载流子2．2．1半导体中的能带2．2．2多子和少子的热平衡2．2．3电子的平衡统计规律2．2．4过剩载流子2．3pn结2．3．1平衡pn结2．3．2pn结的正向特性2．3．3pn结的反向特性2．3．4pn结的击穿2．3．5pn结的电容2．4双极晶体管2．4．1双极晶体管的基本结构2．4．2晶体管的电流传输2．4．3晶体管的电流放大系数2．4．4晶体管的直流特性曲线2．4．5晶体管的反向电流与击穿电压2．4．6晶体管的频率特性2．5MOS场效应晶体管2．5．1MOS场效应晶体管的基本结构2．5．2MIS结构2．5．3MOS场效应晶体管的直流特性2．5．4MOS场效应晶体管的种类2．5．5MOS场效应晶体管的电容第三章大规模集成电路基础3．1半导体集成电路概述3．2双极集成电路基础3．2．1集成电路中的双极晶体管3．2．2双极型数字集成电路3．2．3双极型模拟集成电路3．3MOS集成电路基础3．3．1集成电路中的MC）SFET3．3．2MOS数字集成电路3．3．3CMOS集成电路3．4BiCMOS集成电路基础第四章集成电路制造工艺4．1双极集成电路工艺流程4．2MoS集成电路工艺流程4．3光刻与刻蚀技术"4．3．1光刻工艺简介4．3．2几种常见的光刻方法4．3．3超细线条光刻技术4．3．4刻蚀技术4．4氧化4．4．1si02的性质及其作用4．4．2热氧化形成si02的机理4．4．3Si02的制备方法4．5扩散与离子注入"4．5．1扩散4．5．2扩散工艺4．5．3离子注入4．5．4离子注入原理4．5．5退火4．6化学气相淀积（CVD）4．6．1化学气相淀积方法"4．6．2单晶硅的化学气相淀积（外延）4．6．3二氧化硅的化学气相淀积4．6．4多晶硅的化学气相淀积4．6．5氮化硅的化学气相淀积"4．7接触与互连4．7．1金属膜的形成方法4．7．2难熔金属硅化物栅及其复合结构4．7．3多层互连4．8隔离技术4．8．1双极集成电路隔离工艺4．8．2M（）S集成电路隔离工艺4．9封装技术4．10集成电路工艺小结第五章集成电路设计5．1集成电路的设计特点与设计信息描述5．1．1设计特点5．1．2设计信息描述5．2集成电路的设计流程5．2．1功能设计5．2．2逻辑与电路设计5．2．3版图设计5．3集成电路的设计规则和全定制设计方法5．3．1集成电路的设计方法5．3．2集成电路的设计规则5．3．3全定制设计方法5．4专用集成电路的设计方法5．4．1标准单元设计（sc）方法和积木块设计（BBI）方法5．4．2门阵列设计方法（GA方法）5．4．3可编程逻辑电路设计方法5．5几种集成电路设计方法的比较5．6可测性设计技术5．7集成电路设计举例5．7．1四位运算器的设计流程5．7．2多路开关的设计实现过程第六章集成电路设计的EDA系统6．1集成电路设计的EDA系统概述6．2高层级描述与模拟——VHDI及模拟6．2．1VHDL的基本概念及主要作用6．2．2VHDL建模机理的特点"6．2．3VHDL的模拟算法6．2．4VHDL模拟环境的特点6．3综合6．4逻辑模拟6．4．1逻辑模拟的基本概念和主要作用6．4．2逻辑模拟模型的建立6．4.3逻辑模拟算法6．5电路模拟6．5．1电路模拟的基本概念6．5．2电路模拟的基本功能6．5．3电路模拟软件的基本结构6．5．4电路描述6．5．5开关级模拟6．6时序分析和混合模拟6．6．1时序分析和混合模拟的主要作用6．6．2时序分析的基本原理6．6．3混合模拟6。7版图设计的EDA工具6．7．1版图设计的基本概念6．7．2版图的自动设计6．7．3版图的半自动设计6．7．4版图的人工设计6．7．5版图检查与验证6．7．6制版6．7．7版图数据交换的格式6．8器件模拟6．8．1器件模拟的基本概念6．8．2器件模拟的基本原理6．8．3器件模拟的基本功能及所用模型6．8．4器件模拟的输入文件6．9工艺模拟6．9．1工艺模拟的基本概念6．9．2工艺模拟的基本内容6．9．3工艺模拟的输入文件6．10计算机辅助测试（CAT）技术6．10．1故障模型6．10．2计算机辅助测试技术第七章系统芯片（soC）设计7．1系统芯片的基本概念和特点7．2SOC设计过程7．3SOC关键技术及目前面临的主要问题7．3．1软硬件协同设计7．3．2IP复用技术7．3．3S（）C验证7．3．4S（）C测试7．3．5S（）C的物理设计考虑7．3．6FPGASOC7．4SoC的发展趋势第八章光电子器件第九章微机电系统第十章纳电子器件第十一章微电子技术发展的规律和趋势附录Ａ微电子学领域大事记附录Ｂ微电子学常用缩略语