太阳能光伏产业:多晶硅生产技术(邓丰)

第1章 概述1．1 硅的简介1．2 硅材料工业概况1．3 多晶硅的生产方法小结习题第2章 纯水的制备2．1 水的概述2．2 离子交换法简介2．3 去离子水（高纯水）的制备工艺2．4 离子交换法制备纯水2．5 纯水制备系统主要设备及工作原理2．6 纯水制备系统运行控制2．7 纯水制备系统的清洗2．8 高纯水的测量小结注释习题第3章 工业硅的生产3．1 工业硅生产原理及影响因素3．2 工业硅生产工艺3．3 工业硅生产操作3．4 工业硅生产设备3．5 生产操作及安全控制3．6 烟气净化利用小结习题第4章 氢气的制备和净化4．1 氢气的简介4．2 氢气的生产工艺4．3 氢气的净化、储存和运输4．4 氢气的安全使用小结习题第5章 液氯的汽化5．1 氯气的性质5．2 液氯的汽化5．3 氯的存放和安全使用小结习题第6章 氯化氢的合成6．1 氯化氢的性质6．2 氯化氢的合成原理6．3 氯化氢合成工艺过程6．4 主要设备及其作用6．5 工艺条件选择和操作要点6．6 质量控制要点6．7 安全控制小结习题第7章 三氯氢硅的合成7．1 三氯氢硅制备原理7．2 三氯氢硅合成工艺流程7．3 三氯氢硅合成的主要设备7．4 三氯氢硅合成的工艺条件7．5 生产现场操作要点小结习题第8章 三氯氢硅的提纯8．1 三氯氢硅中杂质含量的分析8．2 提纯三氯氢硅的方法简介8．3 精馏的基本概念8．4 双组分溶液的气液相平衡8．5 精馏原理8．6 精馏塔的物料衡算——操作线方程8．7 双组分连续精馏过程的计算8．8 精馏提纯设备8．9 精馏工艺小结习题第9章 三氯氢硅氢还原制备高纯硅9．1 三氯氢硅氢还原的原理及影响因素9．2 三氯氢硅氢还原的工艺9．3 三氯氢硅氢还原操作要点及事故处理9．4 三氯氢硅氢还原工艺质量要求9．5 三氯氢硅氢还原工艺中的计算9．6 还原生产中的热能综合利用小结习题第10章 还原尾气干法回收工艺10．1 重要作用和意义10．2 干法回收的工艺过程10．3 四氯化硅的氢化小结习题第11章 硅芯的制备与腐蚀11．1 硅芯的制备11．2 硅芯腐蚀小结习题第12章 硅烷法制备高纯硅12．1 硅烷的概述12．2 原料的制取及处理12．3 硅烷的发生12．4 硅烷的提纯12．5 硅烷热分解制备多晶硅小结习题参考文献