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纳米CMOS电路和物理设计

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图文详情
  • ISBN:9787111330837
  • 装帧:暂无
  • 册数:暂无
  • 重量:暂无
  • 开本:其它
  • 页数:345
  • 出版时间:2011-04-01
  • 条形码:9787111330837 ; 978-7-111-33083-7

内容简介

  本书将纳米工艺、器件可制造性、先进电路设计和相关物理实现等内容整合到一起,形成了一套先进的半导体技术,探讨了器件和工艺的新发展,提供了设计考虑,重点关注了技术与设计的相互影响,并且描述了可制造性设计和波动性的影响。重要的主题包括纳米cmos工艺缩小问题及其对设计的影响;亚波长光刻;运行问题的物理与理论以及解决方案;可制造性设计和波动性。

目录

译者的话
原书序
原书前言
第1章 纳米cmos?缩小问题及内涵
 1.1 纳米cmos时代的设计方法
 1.2使得性能改善得到延续所必需的创新
 1.3 sub.100nm缩小的挑战和亚波长光刻综述
  1.3.1后道工艺的挑战(金属化) 
  1.3.2前道工艺的挑战(晶体管)
 1.4工艺控制和可靠性
 1.5 光刻问题和掩膜数据爆炸
 1.6 新型的电路和物理设计工程师
 1.7建模的挑战
 1.8 变革设计方法的需要
 1.9 总结
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