多弧离子镀Ti-Al-Zi-Gr-N系复合硬质膜

1 硬质膜的研究进展
1.1 硬质膜概述
1.2 氮化物硬质膜的研究进展
1.2.1 单一金属氮化物膜
1.2.2 氮化物膜的多元化发展
1.2.3 多元氮化物膜的多层和梯度化设计
2 氮化物膜的应用现状
3 真空镀膜技术
4 镀膜工艺参数与研究方法
5 (ti，al，zr，cr)n多元单层膜的制备与微结构
6 (ti，al，zr，cr)n多元单层膜的性能
7 (ti，al，zr)n／(ti，a1，zr，cr)n多元双层膜的制备与微结构
8 (ti，al，zr)n／(ti，al，zr，cr)n多元双层膜的性能
9 crn／(ti，al，zr，cr)n多元双层膜的制备与微结构
10 crn／(ti，a1，zr，cr)n多元双层膜的性能-
11 tialzrcr／(ti，al，zr，cr)n多元梯度膜的制备与微结构
12 tialzrcr／(ti，al，zr，cr)n多元梯度膜的性能
13 结论与展望
参考文献