微纳运动实现技术

第1章绪论（1）
1.1微纳技术的理解（1）
1.2微纳技术的应用（3）
1.3微纳运动实现技术及进展（22）
第2章智能材料微纳驱动技术（31）
2.1概述（31）
2.2形状记忆合金微纳驱动技术（32）
2.3超磁致伸缩材料微纳驱动技术（38）
2.4压电陶瓷微纳驱动技术（41）
2.5热微纳机电驱动技术（50）
第3章微纳运动的传感检测（54）
3.1概述（54）
3.2微纳位移传感技术（54）
3.3激光干涉微纳检测技术（74）
3.4其他先进微纳检测技术（80）
第4章微纳运动控制技术（83）
4.1概述（83）
4.2常用微纳运动控制策略（83）
4.3其他先进控制策略及研究（100）
第5章直线电机微纳运动系统技术（103）
5.1概述（103）
5.2电磁式直线电机微纳运动系统（104）
5.3压电超声电机微纳运动系统（110）
第6章宏微复合微纳运动实现技术（120）
6.1概述（120）
6.2宏微复合微纳运动系统（121）
6.3宏微复合微纳运动系统的非线性影响及控制（124）
6.4宏微复合微纳运动系统应用（135）
第7章宏宏复合微纳运动实现技术（138）
7.1宏宏复合微纳运动系统工作原理（138）
7.2宏宏复合微纳运动系统的动力学模型（144）
7.3宏宏复合微纳运动系统的低速特性（152）
参考文献（164）