薄膜光学原理与技术

第1章 薄膜光学概述 1.1 光学薄膜的概念与功能 1.2 薄膜光学发展史简介 1.3 薄膜干涉的特点 1.4 光学薄膜的基本假定与表示 思考题与习题 第2章 薄膜光学电磁理论基础 2.1 麦克斯韦方程组 2.2 平面电磁波 2.3 麦克斯韦方程组的边界条件 2.4 菲涅耳公式 2.5 单一界面上的反射率和透射率 思考题与习题 第3章 薄膜光学特性计算方法 3.1 递推法 3.2 矩阵法 3.3 矢量作图法 3.4 单层介质膜的光学特性 思考题与习题 第4章 常用的光学薄膜系统 4.1 减反射膜 4.2 高反射膜 4.3 分束镜 4.4 截止滤光片 思考题与习题 第5章 薄膜制备技术 5.1 真空技术基础 5.2 真空蒸发镀膜技术 5.3 溅射镀膜技术 5.4 离子镀 5.5 脉冲激光沉积技术 5.6 薄膜厚度的均匀性 5.7 薄膜厚度的监控 思考题与习题 第6章 薄膜生长与薄膜结构 6.1 吸附、表面扩散与凝结 6.2 核的形成与生长过程 6.3 连续薄膜的形成与生长 6.4 薄膜的结构与缺陷 思考题与习题 第7章 光学薄膜特性测试与分析 7.1 薄膜透射率和反射率的测量 7.2 薄膜光学常数和厚度的测量 7.3 薄膜吸收和散射的测量 思考题与习题 参考文献