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- ISBN:9787030459190
- 装帧:一般胶版纸
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 开本:16开
- 页数:330
- 出版时间:2015-10-09
- 条形码:9787030459190 ; 978-7-03-045919-0
本书特色
针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性,涉及目前*重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合,电感耦合,螺旋波耦合)及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的*新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题,有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。
内容简介
针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性,涉及目前*重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合,电感耦合,螺旋波耦合)及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的*新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题,有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。
目录
第1章概论 1.1等离子体 1.2微电子学中的等离子体工艺 1.3等离子体推进 1.4射频等离子体:e,h和w模式 1.5 内容简介第2章等离子体动力学与平衡 2.1微观描述 2.2宏观描述 2.3整体粒子和能量平衡 2.4电动力学描述 2.5本章总结第3章有界等离子体 3.1空间电荷鞘层区 3.2等离子体/鞘层过渡 3.3等离子体区:输运模型 3.4本章总结第4章射频鞘层 4.1响应时间 4.2离子动力学 4.3电子动力学 4.4(高频)rf鞘层的解析模型 4.5重要结果归纳第5章单频容性耦合等离子体 5.1恒定离子密度下电流驱动的对称模型 5.2非均匀离子密度的电流驱动模型 5.3整体模型 5.4其他放电参数范围及放电位形 5.5重要结果归纳第6章多频容性耦合等离子体 6.1静电近似下的双频ccp 6.2高频情况下的电磁模式 6.3重要结果归纳第7章感性耦合等离子体 7.1 电磁模型 7.2等离子体自身的阻抗 7.3变压器模型 7.4纯感性放电的功率转换效率 7.5容性耦合 7.6整体模型 7.7重要结果归纳 7.8进一步考虑第8章螺旋波等离子体 8.1在无界等离子体中的平行传播 8.2柱状等离子体中传播的螺旋波 8.3螺旋波模式存在的条件 8.4波功率的吸收:加热 8.5 e-h~w模式转换 8.6重要结果归纳第9章真实等离子体 9.1高密度等离子体 9.2磁化等离子体 9.3电负性等离子体 9.4扩展等离子体第10章电测量 10.1静电探针 10.2用于射频等离子体的静电探针 10.3减速场分析器 10.4共振及波诊断 10.5重要结果归纳附录:习题解参考文献
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