精密和超精密加工技术-第3版

目录第3版前言第2版序1第2版序2第2版前言第1版前言**章精密和超精密加工技术及其发展展望1**节发展精密和超精密加工技术的重要性1第二节超精密加工技术的现状5第三节超精密加工技术的发展展望9复习思考题10第二章超精密切削与金刚石刀具11**节超精密切削的切削速度选择11第二节超精密切削时刀具的磨损和寿命12第三节超精密切削时积屑瘤的生成规律14第四节切削参数变化对加工表面质量的影响16第五节切削刃锋锐度对切削变形、加工表面质量的影响19第六节金刚石刀具超精密切削中的若干理论问题23第七节超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构29第八节金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向34第九节单晶金刚石刀具的磨损破损机理36第十节金刚石晶体的定向38第十一节金刚石刀具的设计与制造41复习思考题47第三章精密磨削和超精密磨削49**节概述49第二节精密磨削55第三节超硬磨料砂轮磨削59第四节超精密磨削66第五节精密和超精密砂带磨削71复习思考题77第四章精密和超精密加工的机床设备78**节精密和超精密机床发展概况78第二节典型超精密机床简介81第三节精密机床主轴部件88第四节机床的总体布局和床身导轨93第五节进给驱动系统99第六节微量进给装置103第七节机床运动部件位移的在线检测系统108第八节机床的稳定性和减振隔振110第九节减少热变形和恒温控制113复习思考题116第五章精密加工中的测量技术118**节精密加工中的测量技术概述118第二节生产单位的长度基准和测量基准平台121第三节直线度、平面度和垂直度的测量123第四节角度的测量126第五节圆度和回转精度的测量129第六节激光测量135第七节自由曲面的测量139复习思考题141第六章在线检测与误差补偿技术142**节概述142第二节在线检测与误差补偿方法148第三节微位移技术154复习思考题162第七章精密研磨与抛光163**节研磨163精密和超精密加工技术第3版**章精密和超精密加工技术及其发展展望第二节抛光165第三节精密研磨与抛光的主要工艺因素167第四节精密研磨抛光新技术173第五节曲面研磨抛光技术175复习思考题179第八章微细加工技术180**节微细加工技术的出现180第二节微细加工的概念及其特点181第三节微细加工机理183第四节微细加工方法185复习思考题209第九章纳米技术与3d打印技术210**节纳米技术概述210第二节扫描探针显微测量技术211第三节纳米级加工技术和原子操纵215第四节微型机械、微机电系统及其制造技术225第五节3d打印技术233复习思考题237第十章精密和超精密加工的外部支撑环境238**节空气环境和热环境238第二节振动环境246第三节噪声环境251第四节其他环境254第五节精密和超精密加工的环境设施256复习思考题257参考文献259