纳米多层薄膜设计与制备--W\VC纳米多层薄膜的界面行为和强韧化分析

章 薄膜的强韧化方法与机制1．1 引言1．2 薄膜的强韧化方法1．3 纳米多层薄膜体系及研究现状1．4 纳米多层薄膜的经典强化机制第2章 薄膜界面行为分析2．1 引言2．2 界面的类型2．3 界面研究现状2．4 界面的强化机制第3章 硬质薄膜韧性的测量与表征3．1 引言3．2 纳米压痕法3．3 微悬臂梁法3．4 微柱开裂法3．5 临界载荷法3．6 微划痕法3．7 拉伸法3．8 修正Micro-indentation压痕法3．9 薄膜微桥拉伸法3．10 H/E与薄膜韧性的表征关系第4章 实验和模拟方法4．1 薄膜制备4．2 薄膜表征4．3 性原理及软件介绍4．4 小结第5章 偏压和Ar气流量对Si基底表面状态的影响规律5．1 引言5．2 Si基底的基础数据5．3 偏压对Si基底表面状态的影响5．4 Ar气流量对Si基底表面的影响5．5 Si基底表面的润湿性5．6 小结第6章 W/VC纳米多层薄膜的微观组织和力学性能6．1 引言6．2 薄膜设计6．3 薄膜制备流程和沉积参数6．4 W单层和VC单层薄膜6．5 W/VC纳米多层薄膜6．6 薄膜的强韧化机制6．7 H/E、H3/E2与韧性的关系6．8 小结第7章 W/VC界面的性原理分析7．1 引言7．2 建模方法和表面计算7．3 界面计算7．4 小结参考文献