微机电系统设计及应用探究
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图文详情
- ISBN:9787557880477
- 装帧:暂无
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 开本:24cm
- 页数:177页
- 出版时间:2021-05-01
- 条形码:9787557880477 ; 978-7-5578-8047-7
内容简介
本书共5章, 内容包括: 微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
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