微机械电子系统及其应用-(第2版)

第1章微机电系统的组成和应用
　1.1引言
　1.2微机电系统的特征
　1.3微机电系统的材料和制造技术
　1.4微机电系统的测量技术
　1.5微机电系统的应用
　　1.5.1在航空航天方面的应用
　　1.5.2在生物医学方面的应用
　　1.5.3在微流量系统方面的应用
　　1.5.4在扫描探针显微术方面的应用
　　1.5.5在信息科学方面的应用
　　1.5.6在微光学方面的应用
　1.6结语
　　思 考 题
第2章微机电系统材料
　2.1概述
　2.2硅及其化合物材料
　　2.2.1单晶硅
　　2.2.2多晶硅
　　2.2.3硅蓝宝石
　　2.2.4碳化硅
　　2.2.5氧化硅和氮化硅
　2.3化合物半导体材料
　2.4光导纤维
　2.5熔凝石英
　2.6金刚石材料
　2.7压电材料
　　2.7.1压电效应（电致伸缩效应）
　　2.7.2压电石英晶体
　　2.7.3压电陶瓷
　　2.7.4聚偏二氟乙烯薄膜
　　2.7.5zno压电薄膜
　　2.7.6压电自感知驱动器
　2.8磁致伸缩材料
　2.9形状记忆合金
　2.10膨胀合金
　　2.10.1铁镍低膨胀系数合金（4j36）
　　2.10.2铁、镍、钴玻璃封接合金（4j29）
　　2.10.3铁、镍、钴瓷封合金（4j33）
　2.11几种通用金属材料
　2.12超导材料
　2.13纳米相材料
　　思 考 题
第3章微机械制造技术
　3.1概述
　3.2硅微机械制造技术
　　3.2.1表面微加工技术
　　3.2.2体型微加工技术
　3.3liga技术和sliga技术
　　3.3.1liga技术
　　3.3.2sliga技术
　3.4固相键合技术
　　3.4.1技术要求
　　3.4.2键合方法
　3.5特种加工技术
　　3.5.1激光加工技术
　　3.5.2电子束加工技术
　3.6纳米结构（器件）制造工艺方法简述
　　3.6.1引言
　　3.6.2纳米结构新工艺技术探讨
　　思 考 题
第4章微机械执行器
　4.1概述
　4.2微电机
　　4.2.1静电力驱动变电容式微电机
　　4.2.2静电驱动谐波式微电机
　　4.2.3电悬浮微电机
　4.3微泵和微阀
　　4.3.1微流量控制系统
　　4.3.2微型泵
　4.4梳状微谐振器
　　4.4.1梳状微谐振器的结构和工作原理
　　4.4.2谐振梳弹性系统的固有频率
　　思 考 题
第5章微机械硅电容式传感器
　5.1概述
　5.2集成式硅电容压力传感器
　　5.2.1原理结构
　　5.2.2方膜片的小挠度近似计算
　　5.2.3检测电路
　　5.2.4硅电容式集成压力传感器的接口电路
　5.3力平衡式硅电容加速度传感器
　　5.3.1摆式结构脉宽调制静电力平衡式加速度传感器
　　5.3.2梳齿结构静电力平衡式加速度传感器
　　5.4电子隧道效应加速度传感器
　　5.4.1电子隧道效应
　　5.4.2力平衡式隧道加速度传感器
　　思 考 题
第6章微机械硅谐振式传感器
　6.1概述
　6.2硅谐振式传感器的物理机制
　　6.2.1测量原理
　　6.2.2品质因数
　　6.2.3谐振梁的微分方程
　6.3激励和检测机制
　　6.3.1静电激励与电容检测
　　6.3.2电热激励与压敏电阻检测
　　6.3.3光热激励与光纤检测
　　6.3.4电磁激励与检测
　　6.3.5压电激励与检测
　6.4硅谐振式传感器
　　6.4.1硅谐振梁式压力传感器
　　6.4.2硅谐振式加速度传感器
　　6.4.3硅谐振式角速率传感器
　　6.4.4谐振式碳纳米管质量传感器
　　思 考 题
第7章微机械弱信号检测与处理
　7.1概述
　7.2微弱信号检测技术
　　7.2.1滤波技术
　　7.2.2开关电容技术
　　7.2.3频域信号的相关检测技术
　　7.2.4锁相环理论
　　7.2.5时域信号的取样平均技术
　　7.2.6抗干扰的技术措施
　思 考 题
　参考文献